更新時間:2023-11-12
我研究室生產的KW型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。 產品主要特點 1、開關電流調速,穩定性能更好,轉速調節以數字顯示為準。 2、轉速在500~8000轉/分范圍內非常穩定。
品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 國產 |
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應用領域 | 電子 |
中國科學院微電子研究所 KW-4A型臺式勻膠機/旋涂儀/涂膠機
產品簡介
我研究室生產的KW-4A型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。
產品主要特點
1、開關電流調速,穩定性能更好,轉速調節以數字顯示為準。
2、轉速在500~8000轉/分范圍內非常穩定。
3、采用雙轉速。在啟動之后,先以低速運轉,使膠攤開,然后自動轉換到高速運轉。兩種轉速及相應的時間分別可調,時間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘。
4、具有定時功能。
5、測速采用光電的辦法,產生光電脈沖,由晶體分頻測速準確性高。
6、"吸片"采用電磁閥控制氣路,一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機工作,適合流水線的工藝,提高了效率。
7、在安裝結構上,采取了減振措施,保證了在運轉時噪音低。
性能指標:
參數 | 指標 |
調速范圍和勻膠時間 | Ⅰ檔調速范圍:500-2000轉/分Ⅰ檔勻膠時間:2-18秒 Ⅱ檔調速范圍:1300-8000轉/分Ⅱ檔勻膠時間:3-60秒 |
適用 | Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等勻膠 |
電機功率 | 40W |
LED數字顯示 | 轉速穩定度:±1%,膠的均勻性:±3% |
真空泵抽氣速率 | ≥60升/分 |
儀器尺寸 | 210×220×160mm |